TJHG-SH-558型蓝宝石基片CMP抛光液是广东腾骏化工科技有限公司生产的高纯度胶体浆料。该产品是为了适应蓝宝石行业提高加工效率的需要而生产的新一代蓝宝石基片CMP抛光液，应用在蓝宝石衬底晶片4寸片的双面抛光工艺中，产品投放市场后达到了较好的使用效果。产品CMP加工中具有移除速率高、悬浮性强、易清洗、使用寿命长等特点。

TJHG-SH-558型蓝宝石基片CMP抛光液选用我司自行生产的单质硅水解法纳米二氧化硅水溶胶作为磨料，具有浓度较高，粒径均一性好，杂质沾污少等特点。该产品选用的辅助试剂多为有机试剂，避免了无机物对设备的腐蚀以及操作的危险性。产品无毒无味，适合蓝宝石行业封闭性较好的生产环境使用。产品在CMP工艺中具有易清洗、移除效率高、抛光平整度高等特点。在CMP过程中根据需要可以优化不同配比，均能达到最佳使用效果。同时，该产品在CMP过程中无结晶，划伤少，稳定性好，无毒无味。

主要用于各种尺寸的蓝宝石基片的高质量平整化加工。

TJHG-SH-558 型蓝宝石抛光液建议和去离子水的配比为1:1循环使用或1:2-3不循环使用， 也可根据实际要求改变配比。

1、CMP抛光液使用过程中尽量避免直接暴露，防止污染物进入浆料中造成划伤。

2、冬季气温较低（<5℃）时，浆料不可放置室外，需存放在恒温仓库，一旦发生凝胶将不可使用。

3、浆料使用过程中需要及时清洗管路和器具，避免浆料长期残留在管路和容器中造成凝胶，引起晶片表面划伤。

4、抛光液循环使用时，需要在管口添加过滤装置，以免发生凝胶而又反复应用时造成晶片表面划伤。

1、运输与存放温度为5-40℃，25℃为最佳存放温度，存放时应避光，以避免抛光液变质。

2、保质期一年，建议半年内使用。

3、避免金属、颗粒污染，避免强电解质的接触。

25kg/桶、250kg/桶、1000kg/桶。